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100Pa倉內真空度掃描電鏡

產品簡介

CEM3000系列100Pa倉內真空度掃描電鏡操作系統簡便,使用過程簡單快捷。具有高度的靈活性和豐富的功能,包括多種檢測器、附件,可以滿足廣泛的研究和工業需求,包括半導體芯片失效分析。

產品型號:CEM3000
更新時間:2025-11-05
廠商性質:生產廠家
訪問量:100
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掃描電鏡是眾多不同研究領域中的一個關鍵工具,范圍覆蓋從材料科學、工業生產甚至生命科學領域所涉及的一切內容。只要需要關于樣品表面或近表面區域的形貌、成分和結構信息,掃描電鏡分析都是必要的步驟,SEM掃描電鏡也就成為必要的工具。

傳統的落地式SEM掃描電鏡儀器可能需要一個專門的房間或設施,而中圖儀器CEM3000系列100Pa倉內真空度掃描電鏡的框架尺寸還有所縮小,具有更高的易用性,要堅固耐用得多。

100Pa倉內真空度掃描電鏡


CEM3000系列100Pa倉內真空度掃描電鏡操作系統簡便,使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入,自動導航和一鍵出圖能力(自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。具有高度的靈活性和豐富的功能,包括多種檢測器、附件,可以滿足廣泛的研究和工業需求,包括半導體芯片失效分析。無論樣品尺寸、重量、導電性如何,掃描電鏡都可以讓您輕松應對挑戰,獲得出色的SEM圖像和SEM分析結果。


產品功能

1)臺式電鏡緊湊的外型,能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花;

2)高分辨率,能夠對微尺寸特征進行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;

3)快速抽放氣,憑借真空系統設計,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;

4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調節功能,無需過多人工操作,就可得到高質量拍攝圖片;

5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;

6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術,基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;

7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測;

8)能夠提供多種成像參數供用戶選擇,滿足專業用戶的調節需求;

9)搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。


機型選擇

CEM3000全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡,不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業應用能力,而且操作靈活和成像質量可靠,在現代制造業中為用戶帶來突破性的檢測解決方案:

100Pa倉內真空度掃描電鏡

CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。

CEM3000B(抗振型):專為振動環境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩定。


應用領域

CEM3000系列掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設計,避免使用環境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能,能夠對不同類型的樣品進行觀測,具有高空間分辨率。搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。

100Pa倉內真空度掃描電鏡

應用案例

金屬材料分析

100Pa倉內真空度掃描電鏡

花粉微觀形態

100Pa倉內真空度掃描電鏡

部分技術指標

型號

CEM3000A(大樣品倉型)

電子槍

燈絲

鎢燈絲

分辨率

優于4nm(SE),優于8nm(BSE)  @20kV

加速電壓

1 ~ 20kV

放大倍數

電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)

探測器

二次電子

標配

背散射電子

標配(四象限高分辨探頭)

能譜儀

選配

自動化軟件

標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強

選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建

真空系統

真空度

高真空:優于9×10-3Pa

低真空:5 ~ 100 Pa(選配)

抽真空時間

低真空模式 < 1.5min

高真空模式 < 3min

樣品臺

自動軸

XYT

手動軸

RZ

行程范圍

X: 50mm

Y: 50mm

R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉)

T: -22.5°~ +22.5°

Z: 45mm


樣品尺寸

70mm×70mm(水平)

45mm(高度)

倉內相機

導航相機

標配高分辨彩色相機

側視相機

標配高分辨紅外相機

操作系統

圖片尺寸

Windows10 (64bit)

640×480

1280×960

2560×1920

5120×3840

10240×7680

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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