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數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀

產(chǎn)品簡介

SJ6000數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀以光波為載體,集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

產(chǎn)品型號:SJ6000
更新時間:2025-04-08
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:974
詳細(xì)介紹在線留言

中圖儀器SJ6000數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀以光波為載體,集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀

SJ6000數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


產(chǎn)品功能

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。

數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀


它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,在機床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

在機床領(lǐng)域中的應(yīng)用

激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,在機床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

1.測量機床導(dǎo)軌的直線度和平行度。

數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀

導(dǎo)軌是機床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài),并及時進(jìn)行調(diào)整和修正,確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,從而為后續(xù)的機床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應(yīng)用,激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系,從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài),保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。

數(shù)控機床線性激光干涉檢測儀

對數(shù)控機床進(jìn)行螺距誤差補償


SJ6000激光干涉儀機床平行度直線度線性檢測儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導(dǎo)軌,還可以檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,減少維護(hù)成本和停機時間,為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。


部分技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。



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